Reliance SCADA ve společnosti INTEGRAL

INTEGRAL je globální vývojová a výrobní společnost zaměřená na dodávky integrovaných obvodů, polovodičů, LCD displejů, lékařského vybavení, digitálních hodinek a dalších produktů.

Zdroj: www.integral.by

Chemický box pro leptání křemíkových desek

V roce 2015 bylo vedením společnosti rozhodnuto o dodávce dvou chemických boxů pro leptání křemíkových desek. Pro systém řízení a vizualizace procesu leptání, který byl implementován společností CSVG, a. s., byl vybrán PLC automat Tecomat TC700 a SCADA/HMI systém Reliance. Společnost GEOVAP se na projektu podílela dodávkou inženýrských prací, tj. zpracováním programového vybavení řídicího systému a vizualizačního projektu.

Řídicí systém

Řídicí systém je instalován v hermeticky oddělené části leptacího boxu, který je umístěn v technické zóně výrobního prostoru. Řídicí systém monitoruje a řídí kompletní proces, který spočívá v odstranění fotocitlivého laku z křemíkových desek po operaci fotolitografie a odstranění zbytkových prachových částic menších než jeden mikrometr z povrchu opracovávaných křemíkových desek.

Odstranění fotolaku probíhá při teplotě 120 °C v roztoku kyseliny sírové a peroxidu vodíku. Řídicí systém se zde stará o doplňování úbytku peroxidu vodíku v leptacím roztoku a regulaci procesní teploty a výšky hladiny.

Zdroj: Pavel Redina, YouTube

Prachové částice, které drží na povrchu velkými adhezními silami, jsou odstraňovány roztokem peroxidu vodíku, hydroxidu amonného a demineralizované vody při teplotě 75 °C. V tomto kroku opět řídicí systém vyhodnocuje koncentraci roztoku a na základě požadavku udržuje koncentraci roztoku, teplotu a výšku hladiny stálé.

Mezi jednotlivými chemickými operacemi jsou křemíkové desky umyty dynamickými proplachy ve vysoce čisté demineralizované vodě dle vytvořeného procesního programu, na jehož základě PLC automat provádí automatizované mytí se sledováním čistoty a teploty vody pomocí měřiče rezistivity.

Veškerou manipulaci provádí manipulátor, který je rovněž řízen PLC TC700 s využitím dvouosého modulu GT-7752.

Všechna data z řídicího systému jsou předávána do průmyslového dotykového počítače, na kterém je nainstalován modul Reliance 4 Control. SCADA/HMI systém Reliance umožňuje obsluze prostřednictvím vizualizačních obrazovek sledovat stav a průběh procesu, nastavovat parametry včetně receptur, monitorovat alarmová hlášení a prohlížet historická data pomocí grafů či tabulkových sestav.